Silicon Oxynitride Thin Films Grown by Reactive HiPIMS
- Författare
- Linköpings universitet Tuomas Hänninen
- (Tuomas Hänninen., Lic.-avh. Linköping : Linköpings universitet, 2016)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linköping University | 2015 | Sverige, Linköping | viii, 50 sidor. ill. | 978-91-7685-879-0 |